KLA 納米壓痕儀iMicro系列

 　　iMicro納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬質(zhì)涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測(cè)試、劃痕和納米*萬能試驗(yàn)等多種納米力學(xué)測(cè)試。作動(dòng)器易于更換，能夠提供大范圍的動(dòng)態(tài)載荷和位移，對(duì)于從軟質(zhì)聚合物到硬質(zhì)金屬/陶瓷等材料，均可以進(jìn)行準(zhǔn)確而可重復(fù)的測(cè)試。模塊化的功能選項(xiàng)可以適配各種應(yīng)用：材料力學(xué)特性圖譜、頻率相關(guān)特性測(cè)試、劃痕和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。iMicro提供*整套的擴(kuò)展功能選項(xiàng)，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測(cè)量、NanoBlitz3D/4D材料力學(xué)性能成像、Gemini 2D作動(dòng)器用于摩擦學(xué)和其它雙軸力學(xué)測(cè)量。