KLA 納米壓痕儀iNano系列

 　　iNano納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態(tài)測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。iNano納米壓痕儀擁有*整套可擴展的測試選項，包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、NanoBlitz 3D/4D性能分布圖和遠程視頻選項。