德國(guó)ERS 半自動(dòng)熱拆鍵合MDM300/330
MDM300/330是專為研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計(jì)的 款半自動(dòng)熱拆鍵合機(jī)。
ERS MDM300系統(tǒng)是 種用于半自動(dòng)分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術(shù)。該機(jī)器通過(guò)釋放熱量將載體剝離。該系統(tǒng)可供,以保證熱拆鍵合后的晶圓質(zhì)量。
它提供半自動(dòng)PLC控制,而且 多可存儲(chǔ)100多種配方。該機(jī)器具有較高的可重復(fù)操作性: 可以使用預(yù)設(shè)參數(shù)進(jìn)行自動(dòng)熱拆鍵合,然后手動(dòng)脫膠, 后進(jìn)入全自動(dòng)翹曲矯正程序。
MDM300具有兩種操作模式:熱拆鍵合和翹曲調(diào)整以及獨(dú)立的翹曲矯正功能。
另外,我們還提供 些特殊的技術(shù)支持,例如在重新分布后,對(duì)易氧化的晶圓采用的無(wú)氧三溫滑動(dòng)專利技術(shù)。
該工具專為研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計(jì)的。